氦分光儀泄漏（，英語：Securious security）是一種氣體工業(yè)術(shù)語，使用氦或氫作為泄漏氣體和氣體分析器，檢測出氦是否泄漏。密封測試儀又叫包裝檢漏儀，是生產(chǎn)、加工企業(yè)專門用來檢測食品、乳制品以及制藥行業(yè)的包裝袋、瓶子、罐子等容器密封性的儀器，從而保證產(chǎn)品不會因為包裝泄漏而產(chǎn)生質(zhì)量問題（有些泄漏點是肉眼看不到的），延長產(chǎn)品的貨架期。主要用于適用于食品、制藥、醫(yī)療器械等行業(yè)的包裝袋、瓶、管、罐、盒等的密封試驗。亦可進(jìn)行包裝件封口質(zhì)量分析。軟袋密封測試儀氣密測漏儀儀器配合工裝夾具（甲方提供）使用，人工（或自動）放工件置定位工裝上，設(shè)備按鍵啟動，氣密檢測儀充壓檢測（中間過程可以根據(jù)要求設(shè)置保壓時間0-999s），判定工件合格與否，將信號給儀器處理系統(tǒng)并確定是否報警。氦的背景噪聲低，分子量和黏度系數(shù)小，因此容易通過漏孔，容易擴(kuò)散。此外，氦氣是一種不腐蝕設(shè)備的惰性氣體，因此氦氣常被用作泄漏氣體。氣體被噴灑到與氣體分析儀連接的被檢查容器上（僅根據(jù)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)調(diào)整）。如果容器有一個泄漏孔，分析器就會反應(yīng)，知道泄漏孔的位置和泄漏量。尺寸。
1氦質(zhì)譜儀檢漏真空系統(tǒng)。
由氦真空系統(tǒng)的一部分泄漏分子泵，機(jī)械前級泵。
在常規(guī)試驗中，被試件通常由前機(jī)械泵預(yù)抽真空。當(dāng)真空度達(dá)到一定壓力時，進(jìn)入真空系統(tǒng)。試驗前，要求被試件進(jìn)行清潔預(yù)處理，防止灰塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則會直接污染真空系統(tǒng)，甚至損壞真空泵。因此，對被試件進(jìn)行清洗前的管理和設(shè)備的定期維護(hù)清洗顯得尤為重要。
2設(shè)備自身保養(yǎng)小知識
(1)定期更換機(jī)油，并對前真空泵進(jìn)行深度維護(hù);
(2)超聲波清洗電磁閥組；
（3）質(zhì)譜組件超聲波清洗及分子泵定期維護(hù)。
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